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学霸的军工科研系统 第1391节

  “张研究员,欢迎!”常浩南伸出手,“久仰大名,我是常浩南。”

  张汝宁把手提箱换到左手,然后才伸出右手相握:

  “常院士客气了,久仰大名这话,应该我来说才对。”

  说话间,一众随行人员也陆续下车,分列在略靠后几步的位置。

  三人一边寒暄,一边进门乘上电梯,来到了位于顶层的会议室。

  坐定之后,张汝宁没有任何多余的客套,直入主题。

  “常院士,吴院士之前转达了您的需求。”他拍了拍手中的合金箱,发出沉闷的声响,“这次,我把压箱底的东西带来了。”

  他说着向身后示意了一下,助手见状立即上前,将一柄钥匙交到张汝宁手中。

  “咔哒”一声,金属箱打开。

  里面是几块用防震材料包裹得严严实实的硬盘。

  以及一个厚厚的、封面印着“绝密”字样的文件袋。

  “这是我们长光为下一代国产ArF浸没式光刻机‘ArF-1800’项目准备的几种核心折反式物镜组设计方案。”

  张汝宁的语气带着淡淡的自豪,同时还有几分庄重。

  坐在常浩南另一边的吴明翰适时开口道:

  “虽然目前还处于方案论证阶段,尚未最终确定采用哪种设计路线,但毫不夸张地说老张的方案,就代表了国内光刻物镜设计的最顶尖水平。”

  张汝宁闻言笑了笑。

  但这一次却并未出言自谦。

  而是半开玩笑半认真地说道:

  “常院士,如果不是火炬实验室的名头,加上您亲自开口,那这些东西,是绝对不可能带出长光大门的。”

  在这种场合下,需要对自己的成果表现出一些自信。

  再者,过分的谦虚,也是对其它项目参与者的不尊重。

  紧接着,他的语气又恢复严肃:“另外,虽然是带出来了,但根据规定,不能复制,不能拍照,演示交流结束后,我必须原样带回。”

  大家都是体制内的技术人员,自然知道规矩。

  常浩南也看得出对方的重视程度已经拉满,也赶紧配合地接了一句:

  “我代表火炬实验室,对张研究员,以及长光集团的诚意表示感谢!”

  “好!”张汝宁点点头,神情放松下来。

  然后示意助手将其中一块硬盘连接到会议室的专用电脑上:

  “那我们就开始?您这边的新理念,或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”

  ArF-1800项目是长光的心血,对标的是ASML的NXT:2000i系列,属于当前DUV体系下的最顶级产品。

  他也很想看看,对方能拿出什么新的理念来交流。

  然而,常浩南却轻轻摆了摆手,示意那位助手先别动:

  “张研究员,先不急着看资料。”

  这个态度,让另外二人有些愕然。

  “火炬实验室的新理念,是完全……颠覆性的。”常浩南解释道,“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限,关键在于思路,包括折反式系统的设计方法,还有一些关键过程和数据。”

  张汝宁脸上的笑容微微一滞,眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。

  参考价值有限?

  他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案!

  这位常院士的口气,未免太大了些。

  不过,他倒也不至于表露出来,只是点了点头:“那我们就客随主便听常院士您安排就是。”

  常浩南也看出了对方的小情绪,但只是起身,做了个请的手势:

  “二位跟我来。”

  张汝宁和吴明翰对视一眼,都看到了对方眼中的疑惑。

  对方强调两个人,那意思当然是不能带随行人员。

  好在这是国内,倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。

  于是两人将随行人员留在会议室,只身跟随常浩南,深入到了火炬实验室的地下测试中心。

  刚一踏进测试大厅,张汝宁的目光就被吸引住了。

  “这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪?精度能达到亚微米级了!”

  他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备,如同看到稀世珍宝。

  如果不是有一层窗户挡着,怕是要上手摸一摸。

  “还有这台,同步辐射光源的小角散射装置……”

  “Talysurf PRO+表面轮廓仪……”

  “……”

  张汝宁的语气充满惊叹。

  “这些设备的投入,简直难以想象!”

  他本人的课题组建立较早,不少设备已经并非最新型号。

  而长光集团毕竟是个企业,要考虑投入产出比的问题,不可能无限制地追逐新款。

  常浩南微微一笑,并未在此多作停留。

  “张研究员见多识广。不过,今天的重点不是这些。”

  他引着二人,径直走向测试中心一个相对僻静的角落。

  那里摆放着一台看起来相当“朴素”的光路演示仪。

  仪器主体就是一个带有精密位移台的黑色光学平台,上面固定着光源、几个调整架和一个观察端口。

  平台旁边连接着控制电脑和显示器。

  但此时正关着机。

  栗亚波早已在此等候。

  张汝宁快走几步,饶有兴致地凑近光路仪。

  他本以为会看到一组结构复杂、镜片林立的实验性物镜原型。

  然而,当他来到跟前时,却发现光学平台中央的调整架上,只固定着孤零零的一个光学元件。

  一片厚度大约几个毫米的、长方形的……

  镜片?

  它被小心翼翼地夹持在一个特制的夹具中,表面平整如新。

  但无论怎么看,这都只是一片平面镜而已。

  “常院士,这是……”张汝宁疑惑地看向常浩南,又看看同样一脸茫然的吴明翰。

  他完全无法理解,这片看似普通的平面镜,如何能与“颠覆性”的光刻物镜设计理念联系起来。

  常浩南没有直接解释,只是对栗亚波点了点头:“亚波,开始吧。”

  “是,老师。”

  栗亚波早已做好设置,此时只需要按动一下启动按键即可。

  嗡的一声轻响,一道稳定而纤细的绿色激光束亮起

  与此同时,光路仪四周厚重的遮光罩缓缓升起、闭合,将整个平台笼罩在黑暗之中。

  只有控制面板上几个微弱的指示灯亮着。

  几秒钟后,栗亚波轻轻点头,让出了观察口的位置,示意准备就绪。

  这个速度,快到如同儿戏。

  吴明翰好奇心更重,率先将额头贴上观察口的目镜。

  然后……

  安静。

  沉默。

  直到几秒钟后。

  “嘶——!”

  一声极度压抑却又充满难以置信的抽气声,猛地从吴明翰喉咙里发出!

  他整个人如同被电流击中,身体瞬间绷直,贴在目镜上的额头甚至微微后仰了一下,嘴巴张得老大。

  仿佛看到了最不可思议的魔法!

第1609章 常院士还是保守了

  “吴院士?”张汝宁被吴明翰剧烈的反应吓了一跳,“你看到什么了?”

  吴明翰却像是完全没听到,依旧沉浸在巨大的震撼中。

  又过了几秒,才抬起头,然后失语般地指着目镜,示意张汝宁自己看。

  张汝宁心中疑窦丛生,但也被勾起了强烈的好奇。

  他立刻取代了吴明翰的位置,将眼睛紧紧贴上了观察口。

  目镜内,是一片深邃的黑暗。

  只有那一道绿色的激光束,轨迹清晰可见。

  光束倾斜着,射向那片悬浮在黑暗中的、几乎无法察觉到的平面晶片。

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